用涂覆法在树脂基板上制造的石墨烯晶体管


来源:日经电子

标签 石墨烯
法国原子能委员会(CEA)、法国国家科学研究中心(CNRS)、法国国立里尔第一大学(Universite de Lille1)及美国西北大学(Northwestern University)合作利用涂覆法在聚酰亚胺片材上制造出了 石墨烯晶体管(发布资料和论文)。该晶体管的载流子迁移率为100cm2/Vs,在柔性基板上的晶体管中达到最高水平。截止频率(fT)为2.2GHz,最大谐振(fmax)为550MHz,显示出了非常高的工作性能,而且抗折弯性也很强。

  柔性基板上的最高水平

  以前,柔性基板上的晶体管很难获得较高的载流子迁移率。使用有机半导体的案例仅为10cm2/Vs左右。另外,还有采用在沟道层使用 碳纳米管的技术,制作出载流子迁移率达到数十cm2/Vs的案例,此次的 石墨烯晶体管首次达到了100cm2/Vs的水平。

  制作时首先在溶液中分散单层的石墨烯片,然后利用电泳(dielectrophoresis:DEP)法将溶液涂覆在片材上。电泳法工艺的作法是,在想使石墨烯层积的片材上,边施加交流电场边涂覆溶液。这样便可通过简单的涂覆法来实现高密度层积石墨烯片,便于实现高工作性能。
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